无尘室(Clean Room)是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气和细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而特别设计的房间。使用高效过滤器,就可以使无尘室内的浮游微粒子浓度达到零水平,保证产品的质量。实际的生产现场,由于作业者、机器和周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在生产产品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。那么,无尘室内该如何避免这种微粒子污染呢?可以从以下几个方面入手: